Epitaksja z wiązki molekularnej
Nanostruktury poddawane badaniom w warunkach UHV są zwykle wytarzane przy pomocy techniki MBE (epitaksja z wiązki molekularnej ang. Molecular Beam Epitaxy). Technika ta pozwala nanosić na podłoża różne materiały z dokładnością na poziomie 0,01 ML (monowarstwa atomowa z ang. monolayer), dzięki kontroli procesu epitaksji przy pomocy wagi kwarcowej.
Materiały używane w układzie znajdują się w komórkach efuzyjnych, zwanych również wyparownikami, umieszczonych zazwyczaj poniżej próbki. Komórki efuzyjne zbudowane są z ceramicznego tygla wykonanego z Al2O3 o średnicy rzędu 5 mm ogrzewanego przy pomocy wolframowej spirali. Całość jest otoczona molibdenowym cylindrem o średnicy 10 mm w celu zapewnienia ekranowania termicznego. Układ wyparowników znajduje się na wspólnej podstawie chłodzonej wodą około 50 cm poniżej poziomu próbki.
Rysunek 1 przedstawia ideowy schemat typowego układu używanego podczas nanoszenia substancji na powierzchnię próbki. Widoczna jest na nim jedna z komórek efuzyjnych położonych w dolnej części aparatury. Powyżej układu wyparowników znajduje się przesłona umożliwiająca zatrzymanie wiązki molekularnej. W odległości 3 cm od próbki, na tej samej wysokości znajduje się waga kwarcowa. Dzięki możliwości obrotu próbki wokół osi manipulatora, możliwe jest wystawienie podłoża na działanie wiązki molekularnej przez ściśle określony czas.